Методом потенциодинамической и гальваностатической поляризации исследовано влияние на скорость анодного растворения арсенида индия (111) В постоянного магнитного поля и ультразвука в электролитах на основе этиленгликоля. Постоянное магнитное поле активирует анодное растворение на 5-8%, ускоряя диффузионные стадии гетерогенной реакции растворения полупроводника. Показано, что более перспективным методом нетермической активации анодного процесса является ультразвук. При этом электрохимическая и ультразвуковая обработки должны быть разделены во времени.